掩膜版一般指光掩膜基版，是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。

掩膜版检测范围

溅镀掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版、遮光膜光学掩模版、透明基板光学掩模版等。

掩膜版检测项目

反射率检测、光学密度检测、直角度检测、CD精度检测、位置精度检测、线宽检测、外观质量检测、表面平整度检测、铬膜厚度检测、缺陷检测等。

掩膜版检测标准

1、SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范

2、GB 50073-2001 净化厂房设计规范

3、SJ/T 10861-1996 铬版光密度的测试方法

4、GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

5、GB/T 2828.1 2003计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

6、SJT 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

7、SJ/T 10857-1996铬版及其测试方法

掩膜版检测流程

1、沟通需求：了解待检测项目，确定检测范围；

2、报价：根据检测项目及检测需求进行报价；

3、签约：签订合同及保密协议，开始检测；

4、完成检测：检测周期会根据样品及其检测项目/方法会有所变动，具体可咨询检测顾问；

5、出具检测报告，进行后期服务；

以上是有关掩膜版检测的相关内容介绍，清析技术研究院可提供相关检测服务，提供CMA/CNAS资质检测报告，致力于产品研发、成分分析、材料检测、工业诊断、模拟测试、大型仪器测试、可信性验证等技术服务，实验室设施完备、强大的项目专家检测团队。